工作原理
使用1个电流源通过串联加热两组灯丝组，每个灯丝组有21个灯丝位置，允许一次对21个位置进行去气，也可连续依次对2组灯丝（42个）进行去气。设备的工作程序设定和设备的操控采取平板电脑触摸屏的方式。
技术指标
◦输入电源：220 VAC（±10%），50-60 Hz
◦输出能力：0-150 V / ******15 A（电流控制精度±50 mA）
◦控制系统：Intel Celeron J1800处理器，2GB SRAM，支持RS485通信
真空保护
◦启动阈值：≤ 5×10⁻⁶ mbar（自动触发去气流程）
◦异常终止：≥ 5×10⁻⁴ mbar（自动暂停去气流程）
高效去气模式
◦支持自定义烧带流程，可设定电流值（如闪烧电流≤4.8
A）及间隔时间，程序文件断电后仍可保存。
智能监控
◦通过平板电脑触摸屏实时显示真空度、灯丝电流/电压、分子泵转速等
关键参数
◦尺寸：68 cm（长）× 62 cm（宽）×
150 cm（高，打开腔室时）
◦重量：80 kg（不含前级机械泵）
◦输入电源：220 VAC（±10%），50-60 Hz
运行环境
◦温度：10-35℃
◦湿度：30%-90%（无冷凝）
◦海拔：最高3000米
安全与保障
◦紧急电源切断开关，支持快速断电
◦真空腔体高温防护罩，防止烫伤
质量保障体系
◦认证标准：ISO 9001/CE双认证
◦老化测试：72小时连续高温真空测试
◦泄漏控制：年泄漏率＜0.5%（氦质谱检测）
服务支持
交付周期：10-12周（含定制化调试）
技术支持：24小时诊断响应
数据服务：操作日志自动生成（温度/电流/真空度时间序列）
400-116-8986 
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