片状放电室（PN: 75040060) 适合大面积、均匀溅射的分析，对样品损伤小，但能量密度较低；适合常规样品的长时间分析。

针状放电室（PN: 75040061)适合小面积、高能量密度的分析，具有高灵敏度和分辨率，但可能对样品造成局部损伤，更适合复杂样品和高灵敏度分析.