片状样品室（PN: 75040062)用于大面积样品或需要均匀溅射样品的分析；通过片状电极设计，实现等离子体的均匀分布，适合 常规样品的高通量分析；块状金属、半导体晶圆、大面积样品的常规分析。

针状样品室（PN: 75040063)用于 小面积样品或需要高能量密度的分析；通过针状电极设计，实现局部高能量聚焦，适合痕量元素分析和微区分析；针状样品、微区分析、复杂样品的高灵敏度检测。